1、在HVAC系统中应用
可根据洁净室的体积，选用适当的臭氧发生器，将外置臭氧发生器通过接管接入HVAC系统的送、回风主管道的合适位置，其PLC控制系统可预置消毒时间等工艺参数。消毒时，关闭约90%新风进口阀门和回风对外排放阀门，使整个被消毒的洁净室空气通过净化系统风道形成循环状态。每日开机1h进行空气杀灭，可替代化学药剂熏蒸及设备表面需开机2-2.5h。也可在洁净区内任何一个具有送回风口洁净室内单机使用，作局部消灭。

2、传递窗作用
物料在不同级别的洁净室之间或非洁净室与洁净室之间传递，可用专门设计的带臭氧发生器传递窗。

3、对物料、工装模具、工作服等的消毒
可根据对象选用臭氧常温箱或臭氧烘干箱，如用于粉针生产线中铝型复合盖臭氧常温箱，解决以往水洗或酒精浸泡后，再经烘箱烘干的多道工序。

4、密闭容器管道消毒
对输液、输料管道、过滤系统、物料贮罐、反应罐等密闭容器消毒，可选用专用臭氧发生器将自备无油气泵制取百级净化压力空气输入臭氧发生室内，生产出300μg/L以上浓度的臭氧化气体，导入需设备或系统中。

5、对粉体原料与部分中药原料的消毒
在密闭容器中通入臭氧，并利用容器中物料的翻动或搅拌作用对粉体原料与部分中药原料进行消毒，解决了多年对粉体类或部分中药原料的问题。